集成电路装备相关概念股

集成电路装备股票概念有哪些？　　集成电路装备行业概念股票有： 万业企业、至纯科技、普利特、北方华创、长川科技。　　万业企业：　　2月14日收盘消息，万业企业600641收盘跌0.37%，报19.090。市值177.66亿元。　　1月20日消息，万业企业资金净流出123.59万元，超大单资金净流入238.35万元，换手率1.41%，成交金额2.52亿元。　　拟与微电子所牵头设立集成电路装备集团。　　…