半导体设备零部件上市公司

半导体设备零部件上市公司有哪些？　　半导体设备零部件行业概念股票有： 华亚智能、新莱应材、江丰电子。　　正帆科技：7月21日晚间复盘最新消息，正帆科技7日内股价下跌8.49%，截至15时收盘，该股跌2.93%报36.270元 。　　7月21日消息，正帆科技主力净流入56.62万元，超大单净流出129.4万元，散户净流出173.25万元。　　2023年第一季度，公司营业总收入4.11亿，同比增长13…