光刻工程有哪些上市公司？
泰晶科技（603738）：
回顾近30个交易日，泰晶科技下跌10.14%，最高价为37.88元，总成交量1.9亿手。
泰晶科技消息，公司最新研制的用于光刻工程的高精度配套设备―全自动晶圆调频及测选机，近日又取得新突破，该设备适用于光刻晶圆频率调整及分测，配合基于半导体技术的光刻制程量产及质量提升。这一设备的研制成功，不仅填补了行业空白，而且保证了关键性技术的保密性，为公司正在进行的大规模扩产提供了更优的方案。
6月28日盘中消息，泰晶科技5日内股价上涨16.35%，今年来涨幅下跌-84.11%，最新报29.5元，成交额1.32亿元。
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