投资要点
晶圆制造环节景气度较高，半导体设备行业景气度有望延续
2022 年 1-4 月全球&中国大陆半导体销售额分别为 2023 和 673 亿美元，分别同比+24%和+19%，延续高速增长。 短期来看，新能源等需求旺盛&疫情缓解， 2022 全年本土半导体行业景气度不必悲观。 1） 2022 年 5月我国新能源汽车销量、产量分别达到 44.7 和 46.6 万辆，分别同比+106%和+115%； 2022 年 1-5 月累计销量、产量分别达到 199.5 和 206.3 万辆，分别同比+113%和+113%，需求依旧旺盛，对半导体需求持续大幅提升。 2）随着上海封控解除、物流全面恢复，短期压制因素也正在快速缓解。
对于半导体设备，高基数背景下，市场普遍担心半导体行业景气度拐点向下，下游客户资本开支下降。然而，我们认为， 晶圆产能东移背景下，本土晶圆厂开工率依旧较高， 2022Q1 中芯国际、华虹半导体产能利用率均超 100%，产能吃紧。 2022 年下游客户资本开支仍有保障，本土半导体设备行业景气度有望延续。
晶圆厂招标追踪： 下游招标快速推进， 1-5 月国产化率约 30%
我们以近期规模化公开招标的华虹无锡、积塔半导体、福建晋华、华力集成和华虹宏力为统计标本。 1）整体来看， 2022 年 1-5 月 5 家晶圆厂合计完成招标 520 台， 其中 1-5 月份分别完成招标 57、 8、 171、 178 和 106台， 3 月份以来明显提升。 2）细分设备来看， 2022 年 1-5 月份薄膜沉积设备、刻蚀设备、检测/量测设备、炉管设备招标完成量较大，占比分别为 17%、14%、 13%和 18%。 3）细分晶圆厂来看， 2022 年 1-5 月份华虹无锡、积塔半导体、福建晋华分别完成招标 325、 170 和 20 台。
国产化率方面， 2022 年 1-5 月份 5 家晶圆厂合计完成国产设备招标160 台，国产化率约 31%。 1）细分晶圆厂来看， 2022 年 1-5 月华虹无锡、积塔半导体、福建晋华分别完成国产设备招标 59、 93 和 8 台，国产化率分别为 18%、 55%和 40%； 2）细分设备来看，涂胶显影设备、刻蚀设备、CMP 设备、炉管设备、去胶机、剥离设备、刷片机等环节国产化率较高，分别为 37%、 44%、 47%、 35%、 83%、 60%和 56%。 3）细分供应商来看，2022 年 1-5 月北方华创、中微公司、芯源微、拓荆科技、华海清科在上述5 家晶圆厂分别完成中标 55、 13、 12、 14 和 8 台，表现十分突出。
行业进入业绩兑现期，国产替代长期存在&空间广阔
短期来看， 本土半导体设备企业已经进入业绩兑现期。 2021-2022Q1十家半导体设备企业合计实现营业收入237和60亿元，同比+56%和+57%，延续高速增长。 截至 2022Q1 末，十家企业存货和合同负债合计分别达到208 和 95 亿元，均达到历史最高值，保障 2022 年业绩延续高速增长。
中长期来看， 晶圆产能东移&国产替代逻辑长期存在，驱动本土半导体设备市场需求稳定增长，行业需求景气度有望长期延续。 1）晶圆产能东移： 2021-2022 年全球新增晶圆厂 29 座，其中中国大陆 8 座，占比达到27.59%。 集微咨询预计中国大陆未来 5 年还将新增 25 座 12 英寸晶圆厂，总规划月产能将超过 160 万片， 本土对半导体设备需求有望长期维持高位；2）国产替代： 2020 年中国大陆晶圆设备国产化率仅 7.4%，大部分环节不足 10%，国产替代空间广阔。在半导体行业增速放缓的背景下，设备环节进口替代逻辑将日益凸显。 中长期来看，本土半导体设备企业的业绩驱动力更多来自市场份额提升，有望表现出高于行业整体的业绩弹性。
投资建议： 下游需求旺盛，叠加国产替代驱动， 2022 年本土半导体设备龙头业绩有望延续高速增长。重点推荐【拓荆科技-U】、 【华海清科】、【长川科技】、【芯源微】、【至纯科技】、【北方华创】、【中微公司】、【华峰测控】、【盛美上海】。建议关注【万业企业】、【精测电子】。
风险提示： 下游资本开支不及预期、设备国产化不及预期等
