5月23日开盘消息，集成电路设备概念报涨，万业企业领涨，北方华创等跟涨。集成电路设备概念股有：
万业企业：5月20日消息，万业企业5月20日主力资金净流出2772.75万元，超大单资金净流出1157.32万元，大单资金净流出1615.43万元，散户资金净流入2185.91万元。
2021年报显示，万业企业公司实现营收8.8亿，同比去年增长-5.54%；毛利率56.22%。
控股孙公司拟6.58亿元出售多台12英寸集成电路设备。
北方华创：5月20日该股主力净流出2798.03万元，超大单净流出1590.38万元，大单净流出1207.65万元，中单净流出1.26亿元，散户净流入1.54亿元。
2021年北方华创营收96.83亿，同比去年增长59.9%；毛利率39.41%。
公司集成电路设备产品的销售额约占国产集成电路设备销售总额的12%。
中微公司：5月20日消息，中微公司资金净流出1995.3万元，超大单资金净流出1258.9万元，换手率0.15%，成交金额5692.99万元。
2021年公司营收31.08亿，同比去年增长36.72%；毛利率43.36%。
中微开发的等离子体刻蚀设备和化学薄膜设备是制造各种微观器件的关键设备，可加工微米级和纳米级的各种器件。
至纯科技：5月20日消息，至纯科技主力资金净流入74.56万元，超大单资金净流出361.1万元，散户资金净流入570.26万元。
公司2021年实现营业收入20.84亿，同比去年增长49.18%，近4年复合增长45.68%；毛利率36.19%。
公司主要为电子、生物医药及食品饮料等行业的先进制造业企业提供高纯工艺系统的整体解决方案，业务包括高纯工艺系统与高纯工艺设备的设计、加工制造、安装以及配套工程、检测、厂务托管、标定和维护保养等增值服务。
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