半导体光刻概念股有：
泰晶科技：5月9日消息，泰晶科技3日内股价下跌3.85%，最新报30.73元，涨3.75%，成交额9339.63万元。
总股本1.73万股，流通A股1.7万股，每股收益1.35元。
公司去年高端新产品产量、终端客户数量及半导体光刻工艺产品比重增长迅猛，仅第四季度单季利润为0.28亿元，同比增长416.37%。相关人士表示，公司现有订单已经排到了年底，为了抢货源，有客户甚至派专人驻厂，公司明星产品K3215一度停止接单，晶振涨价趋势还将持续到明年下半年。
飞凯材料：5月9日尾盘消息，飞凯材料今年来涨幅下跌-20.89%，截至14时55分，该股涨1.69%，报22.25元，总市值为117.58亿元，PE为29.65。
飞凯材料总股本5.16万股，流通A股5.1万股，每股收益0.75元。
公司半导体光刻胶目前正处于客户验证阶段，IC光刻胶验证周期会随着客户的制程窗口进行调整，时间相对较长。
彤程新材：5月9日尾盘消息，彤程新材（603650）涨1.58%，报25.1元，成交额5133.75万元。
总股本5.86万股，流通A股5.86万股，每股收益0.55元。
公司旗下北京科华微电子材料有限公司半导体光刻胶等业务2021年1-9月份实现业务订单销售9，375.85万元，同比增长51.6%，半导体用G/I线光刻胶产品较上年同期增长61.78%，KrF光刻胶产品较上年同期增长226.69%；北京北旭电子材料有限公司面板用光刻胶等业务2021年1-9月份实现营业收入19，520万元，同比增长26%，2021年7-9月光刻胶产品出货量同比增长30.5%；彤程电子年产1.1万吨半导体、平板显示用光刻胶及2万吨相关配套试剂项目进展顺利，预计2022年开始分批投产。
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